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光學(xué)厚度測量儀是一種基于光學(xué)原理,利用光的反射、折射、干涉等特性,對物體厚度進(jìn)行高精度測量的設(shè)備。隨著科技的不斷發(fā)展,光學(xué)厚度測量技術(shù)在材料科學(xué)、電子制造、涂層檢測等領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。本文將介紹它的工作原理、應(yīng)用領(lǐng)域以及其優(yōu)勢。一...
掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)的試驗方法:1、環(huán)境條件檢查:a、溫度、相對濕度檢查:試驗期間,用精度不低于1級的干濕球濕度計每4h測試一次環(huán)境的溫度,相對濕度。千濕球濕度計應(yīng)置放在與工作臺高度一致,沒有氣流的地方;b、潔凈度檢查:試驗期間,每4h測試一次潔凈度。選用測試精度能滿足相應(yīng)潔凈度等級的光學(xué)粒子計數(shù)器檢測有效工作區(qū)域的潔凈度;c、地面振動檢查:試驗期間,測試一次地面振動幅度,振動分析儀的拾振裝置應(yīng)置放于工作臺機(jī)座附近。2、外觀檢查:a、用目視法進(jìn)行外觀質(zhì)量檢查;b、用手感方法檢查移動...
電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器,具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點。在國內(nèi)研究所,高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用,成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測試儀器。本產(chǎn)品基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器,輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關(guān)系,從而可以通過測量電壓的變化得...
光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過程,由于誤差經(jīng)常會導(dǎo)致產(chǎn)品全部報廢,這時候就需要運用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。光學(xué)膜厚儀的光學(xué)機(jī)械組件:1、光源:寬光譜光源;2、探測器:高靈敏度低噪音陣列式光譜探測器;3、控制箱:含電路板、控制單元、電源、光源;4、輸出設(shè)備:軟件界面支持輸出、輸入光譜數(shù)據(jù)庫。系統(tǒng)特點:1、嵌入式在線診斷方式;2、免費離線分析軟件;3、精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地存儲,重現(xiàn)與繪制測試結(jié)果;4、主...
隨著光學(xué)在各個領(lǐng)域當(dāng)中的應(yīng)用,使得它也能為測厚行業(yè)里帶來貢獻(xiàn)。其中就有大眾所知的光學(xué)膜厚儀。它利用光學(xué)的特點,能夠直接檢測出物件涂層、或者是其它物件的厚度。該儀器所使用的原理,便是光的折射與反射。這種儀器在使用時,擺放在物件的上方,從儀器當(dāng)中發(fā)射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會在膜的表面形成一個反射,另一部分則會透過儀器的薄膜,在薄膜與物件之間的界面開成反射,這個時候,薄膜的表面,以及薄膜的底部同時反射的光會造成干涉的現(xiàn)象。儀器便是利用了這樣的一種現(xiàn)象,從而測量出物件的厚...
作為光刻工藝中zuì重要設(shè)備之一,接觸式光刻機(jī)一次次革命性的突破,使大模集成電路制造技術(shù)飛速向前發(fā)展。了解提高接觸式光刻機(jī)性能的關(guān)鍵技術(shù)以及了解下一代光刻技術(shù)的發(fā)展情況是十分重要的。光刻意思是用光來制作一個圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上的過程。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。接觸式光刻機(jī)是集成電路芯片制造的關(guān)鍵核心設(shè)備。光刻機(jī)是微電子...