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光學(xué)輪廓儀是一款便捷的、精確的、實(shí)用的非接觸三維形貌測(cè)量系統(tǒng)。它建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）)等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。在發(fā)展初期，光學(xué)輪廓儀主要采用傳統(tǒng)的光學(xué)成像技術(shù)，通過(guò)鏡頭和傳感器來(lái)獲取物體的輪廓信息。...

光刻技術(shù)與我們的生活息息相關(guān)，我們用的手機(jī)，電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品，里面的芯片制作離不開(kāi)光科技束。如今的世界是一個(gè)信息社會(huì)，各種各樣的信息流在世界流動(dòng)。而光刻機(jī)是保證制造承載信息的載體。在社會(huì)上擁有不可替代的作用。光刻機(jī)的技術(shù)原理：光刻機(jī)就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來(lái)。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見(jiàn)光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻機(jī)的作用，類似照相機(jī)照相。照相機(jī)拍攝...

一、特點(diǎn)固有振動(dòng)頻率是指某種物體共振的頻率，阻尼則是指在振動(dòng)運(yùn)動(dòng)中消除能量、以減輕振動(dòng)的特點(diǎn)。固有振動(dòng)頻率與地基振動(dòng)的振動(dòng)頻率比（f/fn）稱作振動(dòng)傳遞率，是判定隔振效果的標(biāo)準(zhǔn)。固有振動(dòng)頻率愈小、地基振動(dòng)頻率愈大，隔振臺(tái)的隔振效率愈高。也就是說(shuō)，振動(dòng)傳遞率愈低，隔振效果愈佳。振動(dòng)頻率比(f/fn)低于1.414時(shí)為增幅，數(shù)值為1時(shí)固有振動(dòng)頻率與地基振動(dòng)頻率相同，高于1.414則實(shí)現(xiàn)隔振。隔振臺(tái)一般分為線圈彈簧(CoilSpring)和空氣彈簧(AirSpring)兩種，線圈彈...

HERZ是聞名的隔振臺(tái)系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。在納米技術(shù)的時(shí)代，極之微細(xì)的振動(dòng)已對(duì)搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測(cè)量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的最佳效能，達(dá)到最佳成果。從高層次的研究乃至各個(gè)行業(yè)的基本生產(chǎn)，要想有效地發(fā)展納米技術(shù)，消除振動(dòng)尤為重要！在過(guò)去的40年里，HERZ已發(fā)展成為被動(dòng)式隔振設(shè)備的主流供應(yīng)商，在該領(lǐng)域積累了豐富經(jīng)驗(yàn)。與此同時(shí)，測(cè)量技術(shù)有了很大進(jìn)步，一些靈敏的設(shè)備會(huì)受到被動(dòng)式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾，此類干擾唯有主動(dòng)式隔振系統(tǒng)能夠消除。因此，HERZ在被動(dòng)式隔振系統(tǒng)產(chǎn)...

接下來(lái)為大家介紹ThetaMetrisis膜厚儀在氧化釔(Y2O3)涂層厚度方面的測(cè)量應(yīng)用。ThetaMetrisis膜厚儀可快速準(zhǔn)確地繪制大尺寸氧化鋁陶瓷圓盤上的抗等離子涂層Y2O3厚度。1、案例介紹集成電路特征尺寸的持續(xù)縮小，對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光后的平整度要求日益提高。氧化釔(Y2O3)是一種非常有前景的抗等離子涂層材料，可作化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)磨料，應(yīng)用十分廣泛。因其優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和對(duì)具有高氧親和力的堿性熔體的出色耐受性，Y2O3被用在許多特殊材料上，例如絕緣體、玻璃、導(dǎo)...